六氟化硫充氣柜真空箱檢漏設(shè)備免費(fèi)咨詢 北京科儀創(chuàng)新真空
2021-06-18
氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展
經(jīng)過近半個(gè)世紀(jì)的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：
（1）便攜式：近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問題，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達(dá)到此目的，且提高檢漏靈敏度。
另外，逆擴(kuò)散檢漏方式，實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理
漏率的溫度修正
標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ，所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致，需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計(jì)算，并在測(cè)試結(jié)果中加以說明，修正方法如下:
方法一: 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值；
方法二: 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。
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真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點(diǎn)
1、高壓氮?dú)鈴?qiáng)度檢測(cè)真空箱內(nèi)進(jìn)行，保護(hù)操作者安全
2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、。
3、檢漏儀的自動(dòng)校準(zhǔn)功能以及自動(dòng)校準(zhǔn)程序，可隨時(shí)校準(zhǔn)檢漏儀的靈敏度、準(zhǔn)確度。
4、特殊設(shè)計(jì)的檢測(cè)程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。
5、專利技術(shù)的密封接頭，減少誤判。
6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。
7、PLC控制，使系統(tǒng)運(yùn)行清晰明了，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)及控制。
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